實(shí)驗室機器人經(jīng)蒸發(fā)作用后產(chǎn)生的高溫過(guò)氧化氫蒸汽不斷的被發(fā)生器噴射出來(lái)，直至達到空間內過(guò)氧化氫蒸汽飽和狀態(tài)。高溫飽和過(guò)氧化氫蒸汽接觸到較冷的被消毒物品表面會(huì )達到微冷凝狀態(tài)，在各種微生物等表面形成微米級的包圍層。過(guò)氧化氫分子會(huì )與光或者金屬離子反應，釋放出強氧化性的自由基，當接觸細胞時(shí)會(huì )破壞細胞膜和DNA，自由基會(huì )使微生物失活，在極短時(shí)間內殺死微生物，達到滅菌效果，自由基可以對微生物達到6-log的殺滅效果。